隨著現代化和城市化進程的日益加深，人們在室內的時間越來越多，因而對室內空氣品質的要求也日益提高。
室內空氣品質取決于很多方面，包括溫濕度、二氧化碳、揮發性有機化合物的濃度等。而用于調節和改善室內空氣品質的有效方式之一就是示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監測系統。

示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監測系統概述

隨著能量效率的提高，以及排氣通風設施的物理限制變得更加明顯，半導體設備的排氣通風的優化變得越來越重要。設備的排氣通風設計不合理，可能會造成操作人員的傷亡，引起設備乃至整個工廠的燒毀。

半導體行業需要測量機臺通風效率，滿足SEMI S6 Ventilation行業標準。

SEMI S6 Ventilation是使用示蹤氣體測定逸散性排放的試驗方法，考量含 HPM或易燃易爆氣體的半導體裝備通風效率。

SF6作為示蹤氣體模擬泄漏氣體，因此，對SF6檢測儀的檢測精度要求較高。

檢測方案

高靈敏度的光聲光譜氣體檢測系統，是一套用于在線實時測量示蹤氣體濃度變化，從而評估通風效率的準確、可靠、高效的解決方案。

光聲光譜氣體分析儀可以同時檢測多9種氣體和水汽，檢測氣體種類是從一個超過300種的氣體數據庫中由用戶選擇。除了SF6等示蹤氣體之外，還可以同時檢測室內其它的氣體濃度，比如CO₂、甲醛、苯系物等VOC，為評價半導體機臺通風效率提供更多的數據支持。

整個測量系統由光聲光譜氣體檢測儀、多點采樣器、專用軟件組成；在用戶要求的情況下，還可以集成釋放裝置MFC，管路等一體化解決方案。

示蹤氣體法半導體制造設備通風性能監測系統特性

• 光聲光譜法原理，懸臂梁探測技術

• 可同時測量SF6等多種示蹤氣體及VOC

• 檢測限低，測量精度高(ppb)

• 測量響應快

• 多點采樣器，可擴展12-64個采樣點

• 無需預處理、無耗材、無載氣

• 可定制釋放裝置和管路

應用

• 半導體制造設備通風性能檢測（國際半導體協會SEMI S6標準）

• SF6泄露檢測